Diese Ger?te k?nnen mit dedizierten Softwareoptionen für spezifische Analysearten konfiguriert werden. In Kombination mit Anwendungsmodulen (Anwendungskonfiguration, Kalibrierung und Standards) oder als Paket mit Probenvorbereitungsger?ten entstehen Analytik-Komplettl?sungen. Alle Malvern Panalytical-Produkte werden von unserer Kundenbetreuung und dem Kundenservice unterstützt.

In unserem Knowledge-Center finden Sie weitere Informationen über die vielen interessanten RFA-Anwendungen, die mit unseren Ger?ten m?glich werden.

Zetium

Epsilon 1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT

Axios FAST

Zetium Epsilon 1 Epsilon 4 Epsilon Xflow 2830 ZT Axios FAST

Elementare Leistung

Klein und leistungsstark

Schnelle und genaue Vor-Ort-Elementaranalyse

Direkter Einblick in Ihren Produktionsprozess

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Hoher Probendurchsatz

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Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Elementaranalyse
Detektion und Analyse von Kontaminationen
Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Chemische Identifikation
Technologie
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Elementbereich Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day 80per 8h day - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day
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