In vielen Anwendungsbereichen ist die Kenntnis der Elementkonzentration ein entscheidender Faktor bei der Kontrolle von Materialeigenschaften oder der Einhaltung von Gesundheits- und Sicherheitsvorschriften. Daher reicht es oft nicht aus, lediglich das Vorhandensein von Elementen zu messen, sondern auch eine genaue Quantifizierung der Konzentration ist notwendig. Der erforderliche Genauigkeitsgrad ist abh?ngig vom Anwendungsbereich.

R?ntgenfluoreszenz und Aktivierung mit gepulsten schnellen thermischen Neutronen sind zerst?rungsfreie, stabile und einfach anzuwendende Analyseverfahren zur Bestimmung der Elementzusammensetzung verschiedener Materialien in einer Vielzahl von Anwendungen. Um mit diesen Verfahren Elementkonzentrationen zu quantifizieren, werden die gemessenen Intensit?ten mit der von zertifizierten Referenzmaterialien oder mit bekannten Intensit?ten interner Standards verglichen. Diese Standards sollten dem Probenmaterial so ?hnlich wie m?glich sein, um genaue Ergebnisse zu erzielen. Die gemessenen Konzentrationen werden auch von den physikalischen Eigenschaften der Probe beeinflusst, daher ist oft die Anwendung verschiedener Korrekturen notwendig, die von der Anwendersoftware durchgeführt werden.

In vielen Branchen ist ein schnelles Screening von Probenmaterial unbekannter Zusammensetzung ohne spezielle Standards erforderlich. In solchen F?llen kann eine standardfreie Analysesoftware wie Omnian eingesetzt werden, um die allgemeine Elementzusammensetzung zu bestimmen und semiquantitative Werte der Elementkonzentrationen zu erhalten.

Zetium

Epsilon

Axios FAST

2830 ZT

CNA Produktlinie

Zetium Epsilon Axios FAST 2830 ZT CNA Produktlinie

Elementare Leistung

Hoher Probendurchsatz

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Online elemental analyzers for effective control of many industrial processes

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Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Detektion und Analyse von Kontaminationen
Chemische Identifikation
Technologie
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Aktivierung mit gepulsten schnellen thermischen Neutronen
Elementbereich Be-U Na-Am, C-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour
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