Die hochaufl?sende R?ntgendiffraktometrie ist heutzutage ein leistungsstarkes Werkzeug für die zerst?rungsfreie Strukturanalyse von Epitaxieschichten, Heterostrukturen und übergitterstrukturen. Es handelt sich um ein Standardwerkzeug in der industriellen Produktion sowie in der Entwicklungsphase von epitaktisch gewachsenen Strukturen.

Es k?nnen zahlreiche wichtige Informationen aus den Beugungsdaten gewonnen werden: Zusammensetzung der Legierung und Homogenit?t sowie Dicke der Epitaxieschichten, Spannung und Relaxation sowie Perfektion der Kristallstruktur im Verh?ltnis zu ihrer Versetzungsdichte. Auch die Entstehung von Interdiffusion und die Vermischung an Grenzfl?chen k?nnen unter bestimmten Umst?nden untersucht werden.

Für eine Schnellprüfung k?nnen die Peakpositionen des Substrats und der Schichten für die Analyse verwendet werden. Bei der quantitativen Bestimmung der relevanten Parameter werden jedoch im Allgemeinen Vollbereichs-Simulationen auf Basis der Theorie der dynamischen Streuung angewendet.

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Technologie
X-ray Diffraction (XRD)
Typ der Messung
Epitaxy analysis
Phasenidentifizierung
Phase quantification
Interface roughness
Dünnschicht-Messtechnik
Residual stress
Texturanalyse
Reciprocal space analysis
Partikelform
Partikelgröße
Crystal structure determination
Detektion und Analyse von Kontaminationen
3D structure / imaging
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