Alle realen Schichtstrukturen weisen Oberfl?chen und Grenzfl?chen auf, die auf atomarer Ebene nicht scharf voneinander getrennt sind. Die Grenzfl?chenrauheit und ihre Korrelation zwischen den einzelnen Grenzfl?chen ist bei vielen Anwendungen von entscheidender Bedeutung. Daher ist das Wissen und die Kontrolle über die Qualit?t der Grenzfl?chen sowohl von praktischem als auch von wissenschaftlichem Interesse.

Die R?ntgenstreuung bietet eine zerst?rungsfreie Methode zur Gewinnung von Informationen über verborgene Grenzfl?chen. Die R?ntgenreflektometrie ist empfindlich gegenüber der Schichtdicke, der Materialdichte und der Grenzfl?chenrauheit. Mithilfe spekul?rer Reflexion allein ist es jedoch nicht m?glich, Dichtegef?lle von der physischen Rauheit zu unterscheiden. Der diffuse inkoh?rente Teil einer rauen Ober-/Grenzfl?che kann am besten mithilfe von nichtspekul?rer R?ntgenstreuung gemessen werden. Bei einem der m?glichen Messverfahren wird die Probe bei einem festen Detektorwinkel gedreht.

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Die mit der diffusen Streuung erfassten Daten zeigen die typischen Merkmale der Rauheit. Diese Flügel (sogenannte Yoneda-Peaks) an der unteren und oberen Seite des spekul?ren Teils zeigen das Vorhandensein der Rauheit an. Der Bereich von den Flügeln bis zum spekul?ren Teil wird durch die Streul?ngendichte beeinflusst. Die Analyse erfolgt durch den Vergleich mit einem Probenmodell, das die rauen Grenzfl?chen auf Basis der Distorted-Wave Born Approximation (DWBA) beschreibt.

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Technologie
X-ray Diffraction (XRD)
Typ der Messung
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