Leistungsmerkmale

Schneller kontinuierlicher Betrieb

Die 4-kW-SST-mAX-R?ntgenr?hre verfügt über die bahnbrechende ZETA-Technologie, durch die R?hrenalterungseffekte eliminiert werden. Die Leistung der R?hre bleibt w?hrend ihrer gesamten Lebensdauer wie im Neuzustand erhalten. Somit sind hohe Empfindlichkeit, schnelle Analysen und kurze Messzeiten dauerhaft gew?hrleistet. Die ZETA-Technologie reduziert zuverl?ssig die Notwendigkeit von Driftkorrekturen und Rekalibrierungen und erh?ht somit die Produktivit?t und Betriebszeit des Ger?ts.

Maximierte Betriebsverfügbarkeit

Bei konventionellen R?ntgenr?hren verdampft Wolfram, wodurch sich auf der Innenseite des Berylliumfensters der R?hre Ablagerungen bilden. Beim Einsatz solcher R?ntgenr?hren müssen an den Ger?ten turnusm??ig Driftkorrekturen durchgeführt werden, um die abnehmende Intensit?t, insbesondere bei leichten Elementen, zu kompensieren.?

Beim 2830?ZT wird dieses Driftproblem durch Verwendung der SST-mAX-R?hre reduziert, wodurch die Betriebszeit des Ger?ts maximiert und seine Genauigkeit langfristig erhalten bleibt.

Einfache Bedienung

Zum Lieferumfang des 2830?ZT geh?rt die hoch entwickelte Software SuperQ. Diese verfügt über FP?Multi, ein Software-Paket, das speziell für die Analyse von Multi-Layern konzipiert ist. Die Benutzeroberfl?che der Software sorgt dafür, dass selbst unerfahrene Bediener die vollst?ndige automatische Parameteranalyse von Multi-Layern durchführen k?nnen.
Die SuperQ-Software des Ger?ts verfügt über eine Vielzahl von benutzerfreundlichen Modulen, die für eine flexible Bedienung durch Forscher und Ingenieure konzipiert sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Ger?teparameter an die Anwenderpr?ferenzen.

FALMO-2G

Der FALMO-2G kann in Laboren und Halbleiterwerken problemlos integriert werden, da er ein einfaches manuelles Laden aus der Kassette ebenso unterstützt wie die vollst?ndige Automatisierung. Dank des hochflexiblen Konzepts stehen FOUP, SMIF und offene Kassetten-Lade?ffnungen zur Auswahl, als Einfach- oder Zweifachausführung. Die verschiedenen Konfigurationen des FALMO-2G werden alle von der GEM300-konformen Software unterstützt. Die Stellfl?che des FALMO-2G wurde minimiert, ohne Flexibilit?t und Funktionalit?t zu beeintr?chtigen.?

Anwendungen

Flexibler Betrieb

Die SuperQ-Software des Ger?ts verfügt über eine Vielzahl anwenderfreundlicher Module, die für den flexiblen Einsatz in Forschung und Technik ausgelegt sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Ger?teparameter an die Anwenderpr?ferenzen.

Spezifikation

Handhabung von ProbenR?ntgenr?hreKan?leMontage
Wafer von 100–300?mm durch direktes Laden; kleinere Gr??en k?nnen dank spezieller Adapter gehandhabt werdenSST-mAX75, Endfensterr?hre mit zugespitzter Form, SST-mAX50??als OptionBis zu 24 Festkan?leEntspricht SEMI S2/S8
Optionen für Laden mit FOUP, SMIF, offener Kassette und manuellMessfleckgr??e 40 und 10 mm; andere Messfleckgr??en m?glichMax. 2 GoniometerVollst?ndige SECS/GEM-Konformit?t
Durchsatz bis zu 25 Wafer pro StundeZETA-TechnologieUltra-Hochleistungskan?le aus Bor für h?chste Empfindlichkeit und hohen Durchsatz
Besondere Hochleistungskan?le für hohe Empfindlichkeit und hohen Durchsatz erh?ltlich für B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix
Nicht entflammbares Argon/Methan
Durchflussz?hler


Gasbefüllter Z?hler



Scanner 10° bis 100° 2θ



Szintillationsdetektor mit 300-μm-Be-Fenster

Support

Service und Support

Renditeoptimierte L?sungen

Um den einwandfreien Zustand und die h?chstm?gliche Leistung Ihres Ger?tes zu gew?hrleisten, bietet Malvern Panalytical eine gro?e Bandbreite an Dienstleistungen an. Unser Know-how und unsere Support-Dienstleistungen gew?hrleisten einen optimalen Betrieb Ihres Ger?ts.

Support

Lebenslanger Kundendienst

  • Hilfe am Telefon und Fernwartung
  • Pr?ventive Wartung und Checkups
  • Flexible Kundendienstvertr?ge
  • Software- und Hardware-Upgrades
  • Lokaler und globaler Support

Know-how

Wertsch?pfung für Ihre Prozesse?

  • Analytische Methoden?
  • Beratungsservices

Schulung und Weiterbildung

  • Schulung vor Ort oder in unseren Kompetenzzentren
  • Breites Angebot an Basis- und Aufbaukursen zu Produkten, Anwendungen und Software

Analyse-Dienstleistungen und Kalibriermaterialien

  • Expertenanalysedienstleistungen (RFA)
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