Die R?ntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist ein Analyseverfahren, das zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung unterschiedlichster Probentypen eingesetzt werden kann. Hierzu geh?ren Feststoffe, Flüssigkeiten, Suspensionen und lose Pulver. Die R?ntgenfluoreszenzanalyse wird auch zur Bestimmung der Zusammensetzung und Dicke von Schichten und Beschichtungen eingesetzt. Es k?nnen Elemente von Beryllium (Be) bis Uran (U) in Konzentrationsbereichen von 100?Gew.-% bis hin zu Sub-ppm analysiert werden.

Die RFA ist ein robustes Verfahren, das hohe Pr?zision und Genauigkeit mit einfacher, schneller Probenvorbereitung vereint. Für den Einsatz in Umgebungen mit hohem Durchsatz kann sie leicht automatisiert werden. Darüber hinaus liefert die RFA sowohl qualitative als auch quantitative Informationen zu einer Probe. Eine einfache Kombination aus den Informationen ?was?? und ?wie viel?? erm?glicht auch schnelle Screeninganalysen (semiquantitativ).

Die RFA ist eine Atom-Emissions-Methode, die in dieser Hinsicht der optischen Emissionsspektroskopie (OES), der Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) und der Neutronenaktivierungsanalyse (Gamma-Spektroskopie) ?hnelt. Bei solchen Methoden werden die Wellenl?nge und die Intensit?t von ?Licht“ (in diesem Fall R?ntgenstrahlen) gemessen, das von den angeregten Atomen in der Probe emittiert wird. Bei der RFA verursacht die Strahlung eines prim?ren R?ntgenstrahls aus einer R?ntgenr?hre die Emission von fluoreszierenden R?ntgenstrahlen mit einzelnen, charakteristischen Energien für die verschiedenen Elemente in einer Probe.

Die Technologie für die Trennung (Dispersion), Identifizierung und Intensit?tsbestimmung eines R?ntgenfluoreszenzspektrums führt zu zwei Haupttypen von Spektrometern: wellenl?ngendispersive (WDRFA) und energiedispersive (EDRFA) Systeme.

Zetium

Epsilon

Axios FAST

2830 ZT

Zetium Epsilon Axios FAST 2830 ZT

Elementare Leistung

Hoher Probendurchsatz

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

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Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Elementaranalyse
Detektion und Analyse von Kontaminationen
Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Chemische Identifikation
Technologie
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Elementbereich Be-U Na-Am, C-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour
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